超高纯度(UHP)不锈钢流体元件防腐蚀检测-表面化学分析

配电系统是个关键的过程 ,以确保组件满足行业规定的标准。为了处理在超高压服务中使用的腐蚀性气体，这些组件的特点是一个被动富铬湿润表面的氧化层。供应商使用两种常见的技术-表面化学分析防腐蚀检测和临界点蚀温度防腐蚀检测(CPT)--来评估钝化层的耐腐蚀能力。两种防腐蚀检测之间的根本区别是要防腐蚀检测的总表面积。表面化学分析样品上的一系列离散点，只代表样品的小部分，在使用中暴露于腐蚀性气体的总表面积。CPT防腐蚀检测分析了完全湿润的表面面积。

CPT和表面化学防腐蚀检测在工业中都有自己的地位。然而，CPT防腐蚀检测显示了更广泛采用的希望,因为它可以提供更一致的结果，用更少的时间和更低的成本选择金属。本文主要介绍表面化学分析防腐蚀检测。

传统的表面化学分析防腐蚀检测可以确定金属钝化氧化层的厚度以及表面Cr/Fe和Cr0/Fe0的比率。不同的地方在于金属湿润的表面被隔离并进行防腐蚀检测。防腐蚀检测结果表明， 该金属具有一定的耐蚀性。

表面化学分析方法在SEMI F60[1]和SEMI F72[2]中有规定。常用的方法有俄歇电子能谱法(AES)、电子法，化学分析光谱学(ESCA)和次级离子质谱学(SIMS)

它使用几种不同的技术来分析样本上的离散位置。例如，在AES防腐蚀检测中，一束高能电子束对准样品，导致电子被释放。发出的电子被分析以确定选定元素的原子浓度,如铁、铬和氧。

在某些情况下，表面化学分析防腐蚀检测将显示样品的一个位置的表面化学是可接受的，而在另个位置的表面化学是不可接受的。因此，防腐蚀检测结果可能会发生变化，因为测试发生在非常离散的点，而不是整个表面。

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