渗氮化学热处理可提高机械零件的耐磨性和疲劳强度，改善零件耐介质腐蚀的性能，因而在机械制造业中被广泛应用。而渗氮层深度检查是控制渗氨化学热处理质量的主要检验指标之一。渗氮层深度测量常用的方法有金相法和硬度法。金相法即将试样检验面在放大100倍或200倍的显微镜下，从试样表面沿垂直方向测至与基体组织有明显分界处的距离，即为渗氮层深度；硬度法即采用维氏硬度在规定的试验力下，从试样表面测至比基体维氏硬度点高一定值的位置即为渗氮层深度。

渗碳是目前机械制造工业中应用相当广泛的一种化学热处理方法,通过对低碳零件的表层进行渗碳,以获得不同于心部的良好机械性能。为了使渗碳零件都能够达到预期的性能,作为检验渗碳零件的重要手段之精确地测定渗碳层深度是很重要和很有意义的。

表面硬化是指通过适当的方法使零件的表层硬化而零件的心部仍然具有强韧性的处理。通过这种处理，可以改善零件的耐磨性以及耐疲劳性，而由于零件的心部仍然具有良好的韧性和强度，因此对冲击载荷有良好的抵抗作用。常用的表面硬化处理方法主要有渗碳、氮化、硬质阳极氧化、镀铬、表面淬火以及渗金属等。硬化层深度的测量方法通常有硬度法和金相法。